二手 CANON PLA 501 #293696568 待售

CANON PLA 501是一種用於光刻工藝的掩模對齊器。它是臺式機單元，內置光束源，精密X/Y級，集成級控制器。該設備能夠產生高分辨率成像,精細分辨率為1.0 μ m。光束源的光斑大小為0.1毫米，功率可達120 W。這對於微觀位置的形成是最佳的，可以精確控制過程時間和暴露劑量。X/Y級允許對基板和掩模進行精確和可重復的對齊,以便進行處理,從而實現精確的圖像放置。集成級控制器可以精確控制兩個軸的運動。佳能PLA-501還包含一個帶有石英過濾器的幹燥空氣系統，以確保清潔環境和防止汙染樣品。它有一個集成的真空卡盤來固定基板，並且可以支撐尺寸高達100 x 100 mm的基板。為了處理樣品，操作員首先在X/Y級加載樣品，然後通過手動或自動移動對齊基板或掩模。然後在橫梁點穿過樣品時進行曝光。經過處理後，必須開發樣品以顯示所產生的模式。PLA 501是半導體制造中多種應用的重要器件，實現了微電子器件的精確制圖。它提供出色的分辨率、樣品的精確對齊和自動化操作,以實現可靠和準確的處理。