二手 CANON PLA 501 #293717420 待售

CANON PLA 501是一款全自動的精密掩模對準器，專為先進的微電子研究和高精度光刻應用而設計。它能夠提供高分辨率的基板和口罩對準，以及快速，可重復成像。CANON PLA-501的刀臺尺寸為4英寸乘4英寸，距刀臺最大基板高度為6mm。它配備了254 nm的紫外線激光源和計算機控制的檢振掃描鏡設備，能夠實現高精度對準。該系統還具有一個XY和μ Z級，允許基板和掩模的高度精確的運動，以適應每個實驗的配置要求。PLA 501有一個精密的曝光控制單元，允許用戶調整曝光參數包括脈沖寬度和波長、曝光時間和曝光劑量比。它還具有手動覆蓋模式,允許用戶在不影響預設值的情況下手動設置曝光參數。PLA-501安裝了一個全面的過程控制軟件包。軟件包允許用戶創建、編輯和執行配方，監控流程狀態和收集實驗數據。它還允許遠程控制機器，允許全自動曝光運行。在維護方面，佳能PLA 501配備了智能自我維護工具，定期檢查其組件，並告知用戶所需的維護。此外，它還配備了自動清洗設備，可以清除模型鏡片、遮罩臺和基板上的汙染。總體而言，CANON PLA-501是一種高度精確、高通量的掩模對齊器，適用於先進的微電子研究和光刻應用。它配有直觀的圖形用戶界面、先進的曝光控制設備、智能自我維護和自動清洗系統，使其成為高速、高精度制造的理想選擇。