二手 CANON PLA 501 #293758566 待售

CANON PLA 501是為晶圓的自動光刻而設計的掩模對齊器。該設備采用兩級投影設備,提供高質量的圖樣,大視野為700 mm x 300 mm。這種兩級系統提供高速、低能量的對準，減少了進行光刻的時間和成本。該設備還具有高對比度投影單元,具有出色的分辨率能力。CANON PLA-501有一個尖端光學機器，它提供6倍放大倍率和激光NX90對準光束與接近傳感器的高度精確模式對準。自動光刻過程是由工具的CCD攝像機實現的，該攝像機跟蹤晶片在曝光期間的位置。它還包含一個自動聚焦資產，如果基板移動或變形，可以調整晶片上圖案的位置。該設備還配備了高精度、高分辨率的成像模型，確保了光刻的良好效果。這是使用6英寸晶片級、9個掩模級和一個行進速度為8 um/sec的XYZ高精度晶片級實現的。它±的45°自由傾斜功能使用戶能夠在同一基板上進行不同角度的大規模光刻。PLA 501還具有可靠的對齊和傳輸精度,並結合了其先進的陣列設備和成像系統的特點,使用戶能夠準確高效地開發模式。該單元還提供了一個對開發過程友好的環境。維護（需要最小的費力）由一個有效的維護計數器確保,該計數器驚人地跟蹤服務數據。PLA-501是一種用於晶圓級處理的多合一光刻機。其有用的應用和合適的設計使其成為微電子學、MEMS、半導體或電路加工和生物技術等廣泛研究和工業應用的理想平臺。