二手 CANON PLA 501 #293760365 待售

CANON PLA 501是一款最先進的面膜對齊器，設計用於在基板上最精確、最精確的光刻膠圖樣傳遞。它利用了與各種類型的面膜和基板兼容的高效對準系統。佳能PLA-501包括三個主要組成部分：對準/曝光頭、控制單元和用於對準測量的電影攝影機。高精度對準頭由增加放大的光學零件組成，這些零件經過風冷和電冷，以提供均勻和詳細的對準。磁頭連接到10位微型計算機控制單元,用戶可以選擇所需的掩碼對準和曝光時間。先進的電影攝影機可以在單個測量中測量高達256 x 256個對準點，精度為0.2 µm。PLA 501設計用於光敏材料的高精度重復曝光。它具有廣泛的曝光變量，包括光強度、焦點、曝光時間、拍攝面積和波長範圍。該機配有先進的邏輯操作系統，提供強大的建模能力，確保操作的完美對齊和可重復性。PLA-501配備了自動集中、對稱、偏移補償等多種功能選項，非常適合高精度光刻技術的要求。CANON PLA 501具有用戶友好的控制界面,用戶可以快速設置和操作機器,從而最大限度地減少錯誤並提高效率。該掩模對準器還配備了一個高度可靠的自動熱暴露和化學暴露系統，以最小的維護要求確保彈性操作。CANON PLA-501使用最先進的技術,在印刷精度、精確度和速度方面提供卓越的性能。最後，機器兼容各種基材和基材尺寸。