二手 CANON PLA 501 #293815056 待售
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CANON PLA 501是一款高精度、專業的口罩對準器,提供卓越的性能和可靠性。它有兩套運動控制系統,包括能夠精確對準設計的膜片執行器,還可以通過其強大的增強軟件進行精確調整。掩模對準器的可編程厚度精度為0.3 μ m,非常適合光刻等高精度應用。CANON PLA-501具有大型不銹鋼舞臺,可實現手動和自動制圖過程。四軸級由兩個獨立的X軸和Y軸驅動器以及一個用於過程控制的公共Z軸組成。再者,機器提供了全尺寸面罩在基板上的精確定位,分辨率為0.5µm。機器表面由塑料護罩保護,這也有助於確保適當的對準和光刻期間的均勻曝光。該機還采用集成激光掃描儀,提供自動模式識別和即時對準,高效準確。它還具有先進的自動聚焦功能,在處理之前自動生成基板的焦點圖。它還有一個全面的安全控制系統,以防止在處理過程中發生任何事故。PLA 501結合了最先進的技術和精確度,使其適合各種先進的光刻工藝。它具有光印、抗顯影、濺射塗層等廣泛的應用。此外,該機器堅固可靠,易於維護,使操作員能夠從一個平臺控制整個光刻過程。因此,此掩碼對齊器以較低的擁有成本提供一致的高質量結果。
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