二手 CANON PLA 501 #293828883 待售

CANON PLA 501是一種高度精密和專業化的掩模對準器，能夠準確高效地制造出具有微觀特征的微型器件。該對準器具有先進的對準設備，該設備結合了四點對準系統，該系統采用四個持久對準傳感器和激光二極管，用於基板的無接觸測量。這確保了基板到掩模的配準和對準的極好的準確性和可重復性。對準器還擁有一個精密光學單元，配有10倍顯微鏡物鏡和5倍顯微鏡目鏡，用於精確控制調節和施加的力。此外，控制微處理器確保高精度水平，範圍為0.1至200萬米。對齊器還具有一個集成的蒙版舞臺,可快速輕松地定位蒙版,從而實現精確的蒙版對晶片的配準。遮罩級可調節，使用戶可以改變遮罩懸垂量，增加焦點深度，覆蓋0.05至0.7微米的範圍。變速蒙版平面伺服驅動器提供了對蒙版的精確移動和位置控制。面罩臺采用開放式模塊化設計，即使在擁擠的實驗室環境中也能確保方便地進入。使用真空機將口罩固定在適當的位置，而舞臺本身是穩定和可重復的。兼容的口罩包括溶液處理的有機抗蝕劑、LED抗蝕劑、光致抗蝕劑、二氧化矽和金屬口罩。CANON PLA-501面罩對準器還具有集成的光學儀表和自動sharpening‰Ûª功能，可實現高精度和重復性的曝光設置。該工具設計用於每小時最多10個晶圓的超高吞吐量,最多可存儲2000萬個對齊鏡頭以供將來使用。該對齊器的設計是為了與大多數標準和定制的光刻臺兼容，包括那些集成光學儀表。對於希望提高生產效率和精確度的實驗室來說,這使其成為制造集成電路、傳感器和其他微型設備的理想選擇。