二手 CANON PLA 501 #9004050 待售
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CANON PLA 501是一種先進的掩模對齊器,旨在支持制造電子設備所必需的過程。CANON PLA-501專為光刻工藝而設計，在生產半導體集成電路和微電子器件的其他組件方面起著至關重要的作用。PLA 501配備了多種功能，旨在優化掩模對準過程。掩模對準器具有晶片級板，具有自動真空吸力，便於晶片精確對準光刻。這與一流的數字成像設備相結合,該設備可照亮掩模以捕獲掩模圖樣的圖像。成像系統使用高分辨率CCD相機,可捕獲分辨率低至0.5 μ m的圖樣。PLA-501還具有一個全自動聚焦調整單元，該單元調整光源的焦點，使其與正在處理的晶圓的焦點相匹配。這臺機器允許用戶在光刻過程中監控焦點質量，實現可重現的對準精度和生產的最高分辨率。蒙版對齊器還具有陣列對齊和旋轉功能,可顯示像差和其他可能破壞蒙版陣列圖像的情況。除了這些功能外,CANON PLA 501還提供了一系列自動化過程選項,以提高效率和生產率。用戶可以從自動化學塗層工藝中進行選擇,該工藝提供化學均勻性和改進的粘附性能,以及自動防反射塗層,從而減少空氣動力學幹擾。此外，CANON PLA-501提供了許多工藝選擇，如激光直接寫入和電子束直接寫入，這有利於高度精確的圖樣和蝕刻過程。總體而言,PLA 501是一款高級掩碼對齊器,旨在智能管理掩碼圖樣的對齊,並在光刻過程中再現其圖像。掩模對齊器提供各種自動化過程和出色的分辨率,使用戶能夠通過生產獲得最高的精度和精確度。
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