二手 CANON PLA 501 #9030687 待售

CANON PLA 501是由CANON Inc.開發的一種蒙版對準器，設計用於使用激光在晶圓上精確制作圖樣。CANON PLA-501利用高能聚焦激光束制作精密的三維圖案，最小特征尺寸為14 μ m。它還具有均勻可靠的對準、最佳蝕刻精度和最小反射的特點。蒙面對準和曝光過程使用雙光束設備進行。PLA 501制圖過程中使用的光束為25 μ m/100 μ m、30 μ m/120 μ m和40 μ m/160 μ m。雙光束系統用於同時暴露兩種不同過程的兩種模式，從而使PLA-501能夠減少掩模的變化，使吞吐量增加一倍。CANON PLA 501配備了激光間距裝置，以防止由於激光能量不足而產生的誤差。它還配備了激光掃描光學單元，能夠調節掃描速度，無需機械調節即可輕松調節。此外，該裝置還包括一個精確的高度調整機，保持一致的性能和高精度。它還有一個消噪工具，用於隔離激光的路徑，以減少由於振動和其他環境因素造成的分辨率誤差。機器的整體規格人性化，由於其軟件和專用的操作功能，足夠靈活以適應不同的生產要求。該機軟件配備了低噪聲優化器功能，還能夠自動調節激光功率和曝光時間，以優化圖案形狀，減少不穩定性的發生。總體而言,CANON PLA-501是一種可靠且用戶友好的掩碼對齊器,可提供高精度的陣列精度和可重復性。其雙光束資產及其軟件功能使其成為生產晶圓圖樣的高效可靠的機器。