二手 CANON PLA 501 #9259719 待售

CANON PLA 501 Mask Aligner是一種用於制造微電子器件的光刻設備。利用真空卡盤和掩模工藝，快速、準確地對齊圖樣，並將圖樣暴露在基板上的薄膜上。CANON PLA-501是對生產線的經濟高效的補充,因為它提供了精確的對齊和良好的特性一致性。這種對齊器適用於高達4英寸的基板或9 x 10.5英寸的片，間隙為1.25英寸，焦點範圍為8.5毫升。CANON PLA 501mask對齊器利用高分辨率的服務器控制步進電機和雙編碼器實現精確的模式對齊。它由主體和真空頭兩個主要部件組成，配有光學對準光學器件和微對準器件。主體裝有真空卡盤、口罩對準光圈和曝光燈。真空頭用於固定基板，並將掩模移動到適當位置，以便精確對準。磁頭附著在機器底座上，面罩通過光學對準放大系統在平面上對齊。PLA 501 Machine的曝光系統由多盞燈和一個控制器組成，以調整預定設置的曝光量。曝光燈安裝在滑塊上，便於調節曝光。曝光控制器通過測量光束強度和產生曝光輸出來確定曝光時間。它還允許編程曝光補償和選擇手動或自動曝光模式。PLA-501機器是一種相對較小的設備-其尺寸僅為26.77英寸W x 26.77英寸D（包括真空頭）,重量僅為59磅,可容納6英尺的空間。該機器還UL-60079-1安全認證，其設計目的是為即使是最敏感的基板提供必要的保護。CANON PLA 501 Machine由CANSCAN供電-CANON開發的專有軟件。它提供了控制系統功能的接口，包括：面罩布局、基板選擇、曝光參數調整、通過自動和手動模式對齊，以及數字計算、預設和可編程曝光劑量的顯示。總體而言,CANON PLA-501 Mask Aligner是一款緊湊、經濟實惠且易於使用的工具,可提供精確的對齊和良好的特性一致性。UL-60079-1安全認證，與CANSCAN兼容，成為微電子器件生產的理想機器。