二手 CANON PLA 501 #9301351 待售

CANON PLA 501是一款臺式機蒙版對齊器,具有獨特、低成本和易於使用的設計。該產品具有很高的空間精度和精度控制，提供了卓越的、可重復的光刻性能。該設備具有自動對準和晶圓處理功能，允許用戶減少與光刻相關的時間和成本。CANON PLA-501具有高分辨率、高能量和低失真檢測系統,能夠在掩碼和晶圓級準確對準和定義。該單元由CANON專有的脈沖激光技術提供動力，可以在一次操作中進行多次曝光。機器使用一系列脈沖寬度和強度來精確地暴露掩模或晶片。獨特的激光裝置可確保整個掩模或晶片的曝光均勻。這樣可以通過減少工件來提高最佳效果。該工具利用兩階段曝光過程來改善曝光分布和聚焦。第一階段是快速、準確檢測掩模圖樣的對齊方法。在第二階段，對底物施加最佳劑量和暴露。這樣可以確保圖樣始終轉移到基板上。資產包括先進的軟件，可以優化曝光參數，進一步提高精度和可重復性。由於集成了多種工具,例如對齊驗證、自動曝光優化和測量反饋控制,軟件還可以實現高吞吐量和高效性能。軟件使用方便，可以用任何語言操作。PLA 501具有多種功能,非常適合基礎研究和商業應用。該模型可以處理廣泛的應用，包括在各種基板上的光刻。它獨特的設計和方便用戶的功能使它成為任何實驗室的絕佳選擇。