二手 CANON PLA 521FA #9170315 待售

CANON PLA 521FA是一種用於半導體器件精密制造的掩模對齊器。它是一種自動化、可編程和可配置的設備，能夠為單面和雙面工藝生產優質的晶片。CANON PLA 521 FA具有全場紫外線（UV）照明和先進的光掩模/基板對準系統。它允許使用兩個照相機和兩個基板兩側的對準標記進行高度精確的基板聚焦和對準。此外，它還配備了先進的基板支撐，旨在減少基板上的熱應力並提高工藝產量。此外,它還可以使亞微米精度與200 x 200 mm2的最大視場（FOV）對齊。解放軍521FA提供兩種型號，即Standard和Super。Standard型號以13.5 kW紫外線水銀燈、數模轉換器（DAC）快門、最大基板面積800x800mm2為特色。另一方面，Super車型搭載30 kW UV氙燈、模數轉換器（ADC）快門，最大基板面積3200x3200mm2。借助易於使用的圖形用戶界面（GUI）, PLA 521 FA還提高了性能,提高了對齊速度,提高了生產產量。它配備了先進的內置軟件和硬件功能,可實現高速、實時對準,以及使用對準和成像系統進行高精度監控。佳能PLA 521FA除了其領先的精確度外,還特別堅固耐用。設計為耐腐蝕、保持最佳性能、最大限度地延長設備使用壽命。它還具有高能效，因為與早期型號相比，它可以將用電量降低40%。而且，它具有抗振動的特點，被設計成容納在防塵、防光、防歌劇的環境中，以確保最佳性能。總體而言，CANON PLA 521 FA是一款出色的掩模對準器，非常適合高精度半導體制造。其先進的功能、強大的構建和可靠的性能使其成為需要精確度和準確性的用戶的理想選擇。