二手 CANON PLA 600 FA #151689 待售

ID: 151689
晶圓大小: 5"
優質的: 1991
Mask aligner, 5" Currently warehoused 1991 vintage.
CANON PLA 600 FA是一種面罩對齊器,設計用於微米級和納米級的精密光刻。它是一種高度先進、計算機控制的晶圓步進器,具有一組功能,使其適合廣泛的應用。口罩對準器有一個舞臺,設有氙氣燈、掃描儀和6英寸圓形玻璃板。舞臺設計用於處理從200毫米晶圓到培養皿的各種基材。掃描儀和照明燈連接到自動精密X-Y驅動器,用於精確定位。舞臺配備5-400毫米焦距和非手動焦距覆蓋。焦距和焦距一起覆蓋允許x -y調整光學器件以實現基板的精確角度放置。CANON PLA-600FA可以在單個晶片上同時精確定位和對齊多個掩碼。蒙版放置在蒙版讀取器中,可以將其設置為單模式或雙模式。讀卡器由微步進電機驅動,讀取並存儲掩模方向,使操作員能夠將掩模精確地放置在晶片上。系統還配備了內存存儲,允許操作員最多保存三個蒙版定向設置以備將來使用。遮罩對齊器最先進的特點是其背面對齊,允許精確控制打印基板上的多遮罩方向。背面對準功能還允許對晶圓步進器進行遠程控制,從而無需手動幹預。PLA 600FA還提供集成軟件,使操作員能夠精確跟蹤和維護多個掩碼的對齊。軟件還提供多級控制選項,允許精確調整掩碼對齊方式。總體而言,CANON PLA 600FA是一款先進的、高度靈活的掩模對齊器,可為微量和納米級應用程序提供卓越的準確性和控制。它是一種用於印刷平版印刷的強大工具,可為用戶提供滿足其特定要求的一系列功能。
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