二手 CANON PLA 600 FA #154145 待售

CANON PLA 600 FA是為精確光刻應用而設計的先進自動面罩對準器。適用於執行廣泛的應用，包括半導體器件制造、納米技術和微機電系統（MEMS）。CANON PLA-600FA配備了自動化的3D對準設備和幾個激光源，使其實現了多層的精確對準。PLA 600FA的三維（3D）對準系統允許精確放置掩模，使其成為各種材料精確光刻操作的可靠工具。3 D對齊方式可確保陣列和基板都能精確對齊。該單元還減少了未對準的機會，並提高了5 μ m的對準精度。CANON PLA 600FA配備了多種激光源，對於對多種材料進行制圖操作非常有用。這些激光源包括準分子激光器、近紅外二極管激光器和超短脈沖激光器。準分子激光器主要用於處理不能暴露於可見光的材料，如半導體器件的SiO2層。近紅外二極管激光器是激光修整、制圖和蝕刻操作的有力工具，而超短脈沖激光器則是精細制圖操作的絕佳工具。該機還提供了多種可用於多種應用的光刻工藝，包括接觸光刻和接近光刻。接觸光刻工藝非常適合創建小圖案，例如MEMS中使用的圖案，而接近光刻工藝則非常適合大型光刻作業。另外，PLA 600 FA能夠控制暴露劑量，最小線寬為5 um。最後，PLA-600FA易於使用和操作，適用於小規模和大規模的光刻應用。該工具還附帶了所有必要的組件，以實現平穩操作，如腔室、步進馬達和軟件，用戶可以輕松操作。此外,還為資產提供了遠程控制器,允許用戶遠程控制模型的參數。