二手 CANON PLA 600 FA #33364 待售

CANON PLA 600 FA是專門設計用於光刻的掩模對齊器。該裝置具有用戶友好的界面，適用於半導體器件制造、有機和無機薄膜沈積、復制等應用。掩模對齊器的尺寸為1060 × 830毫米，最佳生產率為每小時6000個晶圓。它配備了兩個機動化的遮罩級，彼此獨立移動，以最大限度地提高生產力。此外，掩模對齊器使用先進的控制機制，允許精確和可重復的光刻過程。CANON PLA-600FA由兩個激光源提供動力：一個是可見的，一個是氙離子激光器，另一個是紫外線。氙離子激光器提供504-514納米的寬波長範圍，提供<2微米的光學分辨率。紫外線氙氣閃光燈用於在248納米的波長下創建和檢查抗蝕劑圖樣。該裝置還具有超高精度的預對準裝置，通過測量模式匹配點和識別失真來精確定位掩模到晶圓。這款蒙版對齊器配備了DSP（數字信號處理）系統，使用戶能夠控制圖像大小、位置和變形。它還允許用戶創建具有高速、高精度對準精度的高精度圖案。自動對準和成像使用4軸電動機執行,從而實現快速、準確的定位。該裝置還能夠探測極小的粒子，大小可達2微米。PLA 600FA還采用了先進的數值優化算法，提高了工藝產量，減少了光刻時間。它還具有一個任務定義功能，允許用戶將任務分配給特定單位，並為每個任務自動優化系統。此外,CANON PLA 600FA具有內置的診斷和自我診斷系統,用戶可以輕松診斷和排除故障。最後,PLA 600 FA是需要高精度和快速處理的光刻工藝的絕佳選擇。此設備非常適合工業應用,可靠、高效且經濟實惠。