二手 CANON PLA 600 FA #9015364 待售
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CANON PLA 600 FA是由CANON ASIA生產的先進光刻面膜對齊器。它的先進技術旨在為光刻過程中需要高精度的產品提供高度精確和可靠的掩模對準。CANON PLA-600FA的構造支持晶片掩模與晶片或基板表面之間的對齊。它由空氣軸承級、感光級、光探測級和晶圓傳輸單元等主要部件組成，所有這些部件都是為提供精確對準而設計的。空氣軸承階段為掩模階段和晶圓階段提供了最佳工作環境。這是通過微型空氣軸承彈藥筒實現的，這種彈藥筒有助於低粗糙度彈性體層，從而實現極其平滑和精確的運動。此外，還采用了由兩條直線導軌組成的平面內舞臺運動系統，以確保高精度的舞臺旅行和定位。感光級的設計允許晶圓和掩模圖樣之間的精確映射。這是由步進電機縮放機構實現的，該機構能夠提供高達700微米的高精度視野。此外，一個集成成像系統捕獲從四個拍攝角度拍攝的圖像，雙UV-IR光源照亮晶圓和掩模級，用於檢查。光探測階段設計為提供長期穩定。這是通過非接觸式光功率檢測器實現的，該檢測器精確檢測晶圓和掩模發出的光強度，以確保精確對準。最後，晶圓傳輸單元允許晶圓和掩模的快速和高效的運動。這是通過使用可變螺距線圈實現的，這種線圈有助於比傳統的鉛絲系統更大的平滑度。總體而言,PLA 600FA是一種先進、高度精確和可靠的掩碼對齊器。其先進技術旨在在晶圓掩模和晶圓或基板表面之間提供高度精確和可靠的對準。
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