二手 CANON PLA 600 FA #9030686 待售

CANON PLA 600 FA Mask Aligner是一款高端光學步進重復對準設備。它專為晶圓級光刻工藝而設計，能夠與+/-5微米的精確度精確對齊和制圖。該系統非常適合半導體行業的應用，如芯片陣列、封裝、MEMS和光學元件。對準單元采用全場8通道ADC圖像采集機。這種傳感器具有極高的分辨率和高靈敏度，使其即使在低對比度或高調制圖像中也能捕捉到細節。該工具具有廣闊的視野，允許廣角曝光和成像。它還具有較高的吞吐量能力,可實現大批量自動化生產。CANON PLA-600FA Mask Aligner有一個分割場光學A軸，使它可以對有圖案的區域進行精確的二維圖案。此A軸用於控制掩蔽、對齊和蝕刻過程。它還用於精確定義蝕刻圖樣，並確保每個過程的準確性。該資產配備了CCD攝像頭和光譜濾波器，使其能夠準確檢測掩模的對準特征。通過計算掩模模式和晶圓模式之間的差異來實現對齊。該模型還配備了自動激光檢測設備，用於檢測掩模的真實中心，提供準確和可重復的圖樣，無需手動調整。系統可以生成各種對齊模式，如正方形、圓形和六邊形模式。它還具有高精度的微步進電機，確保對準特性的精確和可重復的運動。另外，PLA 600FA Mask Aligner有步進電機控制器，可以精確的垂直和水平對準圖案。借助CANON PLA 600FA Mask Aligner,您可以獲得用於晶圓級光刻工藝的高端光學單元。它具有高精度和重復性,非常適合大批量生產。它還提供了創建各種對準模式的靈活性，並配備了CCD相機和激光檢測機，用於精確對準。