二手 CANON PLA 600 FA #9049411 待售
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ID: 9049411
晶圓大小: 5"
Mask aligner, 4"
Illumination system: 250W:
Mirror lens tarnishing: yes
1st Mirror type: backside
2nd Mirror type: backside average
Condenser lens: 6"
Filter: N/A
Objective lens drive: Chain
Eyepiece lens: x10 / Objective lens x10
Down stopper: N/A
Pad size: 4"
Pad count: 3
XYZ: cross roller
W/C: standard
C/L: standard, cylinder
C-box MPU-II: ROM ver. VS60.
CANON PLA 600 FA是一種面罩對準器,一種用於生產集成電路和系統的儀器。它是一種高度精確和多用途的工具,能夠精確對準和定位半導體、印刷電路板和其他基於電路的組件創建過程中用於陣列材料的掩模。CANON PLA-600FA掩模對齊器的主要優點是能夠對齊和陣列掩模,具有很高的可重復性、準確性和速度。對準器配備了高精度、曝光級、成像系統和可變放大倍率,使其能夠制作出極其精確、微微米級的圖樣。它還能夠進行精確的圖樣化,允許對問題區域進行微調。為了正確操作PLA 600FA,用戶必須首先將掩碼加載到曝光階段,然後使用z軸和x-y坐標定位系統對掩碼進行精確對齊。然後使用成像系統來測量入射光的能量,這又被用來激活將在掩模上產生圖樣的曝光過程。CANON PLA 600FA掩模對準器的功能和準確性使掩模模式呈現出均勻性和控制性。這使得該工具適合廣泛的項目和應用,包括但不限於縫合、步進和重復、識別標記、經典光刻、光刻和微調過程。最後,PLA 600 FA掩模對齊器還能夠與設施中的其他工具連接,從而允許上遊集成到整個陣列設備套件中。因此,它可以減少周轉時間,增加吞吐量,並為精確制造需求提供經濟高效的解決方案。
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