二手 CANON PLA 600 FA #9148245 待售

CANON PLA 600 FA是設計用於先進光刻技術的高精度掩模對準器。它具有非常高的精確度,可確保在廣闊的區域內進行精確的陣列。這允許用戶在不增加光掩碼分辨率的情況下實現所需的設計。掩模對準器在355至420 nm的範圍內工作，大場大小600 mm。它還具有從1 x到16 x的高分辨率放大倍率。掩模對齊器可以在一微米的數量級上進行對齊，這是產生亞微米特征所必需的。掃描儀具有內置空氣軸承級，分辨率為0.8微米，可重復性為0.1微米。此級設計用於確保掩模與晶片精確對齊。它還配備了高分辨率CCD攝像頭，像素大小為5 μ m，橫向分辨率為4 μ m。CCD相機使用同差、自相關和梯度技術來保證對準精度。掩模對齊器還配備了Actinictm晶圓級。該級放大率為5倍，10微米級分辨率，重復性為1微米。此外,掃描儀還具有光束掃描系統,可實現快速穩定的掃描輪廓。CANON PLA-600FA mask aligner還配備了提高其能力的軟件。LexEco工具包用於管理各種參數,例如最佳暴露時間和劑量。這樣可以確保對齊器具有適當的數據收集和分析所需的參數。它還具有缺陷檢測、晶圓映射和距離測量功能。PLA 600FA面罩對準器是一種精密的光刻技術儀器.其精度和分辨率使其成為亞微米特征生產的絕佳選擇。其內置的空氣軸承和晶片級確保了掩模與晶片的一致對齊，附加的軟件和功能使得對齊器適合許多特定的任務。