二手 CANON PLA 600 FA #9152979 待售

CANON PLA 600 FA是晶圓級光刻的理想掩模對準器。它有助於快速制作高產率的圖樣和結構，用於MEMS、納米電子設備和光電子等領域。這臺機器可縫制多達24毫升的矩形圖像,最小特征尺寸為0.14毫升。它具有TTL激光二極管光束、通過X-Y索引器進行晶圓定位和臨界對準等特點,能夠進行4軸旋轉和晶圓圖樣的中心測量。CANON PLA-600FA有一個24位自動載荷/卸載支架，能夠處理6「至8」晶圓。晶片厚度可達200毫米。成像機使用高度敏感的32位LSI顏色，在特殊的800-dpi感光圖塊上生成掩碼。這樣可以確保很高的分辨率和低線寬擴展。此計算機提供圖形用戶界面,該界面在基於英特爾的平臺上運行,並具有19英寸顯示器和基於PC的軟件。該軟件對用戶友好,可輕松設置和控制掩碼對齊器。此外，PLA 600FA還提供自動切片機、烘幹爐、熱級卡盤等外圍設備。這臺機器還提供靈活的真空卡盤晶片處理多個晶片從薄到厚類型到平坦和彎曲。再者，它能夠處理各種組成的晶片底物，如矽、低-k、氮化物、磷矽酸鹽玻璃、砷化的。PLA-600FA還配備了最先進的激光雙向掃描，這樣可以很容易地補償圖像失真。此外,它還具有幾種用戶友好的自動功能,如自動定位、自動聚焦和自動曝光。總體而言，PLA 600 FA是一種理想的掩模對準器，用於制造高產量的模式和結構，用於MEMS、納米電子和光電子領域。它具有激光雙向掃描、各種晶片基板組成處理、32位LSI顏色、高分辨率成像、用戶友好的圖形用戶界面以及若幹自動功能等高度先進的功能。