二手 CANON PLA 600 FA #9226487 待售

CANON PLA 600 FA是一種掩模對齊器，是一種用於半導體光刻工藝的儀器。它用於將圖樣從光掩模模板傳輸到基板表面。該儀器利用來自激光源的紫外線，以便在傳遞基板上的圖樣之前，將光掩模與基板精確對齊。該儀器工作面積較大，基寬600mm，最大基板直徑450mm。它具有高度精確的高度調節，分辨率為0.1微米，Z重復性為0.5微米。它還帶有晶圓索引系統和自動對焦功能，可以在光掩模和基板之間精確對準。在實時、高速控制方面，CANON PLA-600FA有一個自動模式搜索系統，允許它從上到下掃描大型樣本，以便識別必要的模式。該系統使用戶能夠減少大型片上設備或大面積網格的模式搜索時間。其他功能包括自動曝光計時器和改進的光線投影模塊，從而實現更加一致和可靠的結果。在安全性能方面，解放軍600FA在防塵防靜電措施方面符合目前所有行業標準。它還設計了易於維護和易於操作，同時配備了手動和自動操作模式。總體而言，PLA-600FA非常適合半導體行業的光刻工藝，以安全和高效的方式提供準確和可靠的結果。憑借其較大的工作面積、高精度的高度調節、高速實時控制以及多種安全特性，它是一種用途廣泛、可靠的儀器，可用於多種光刻工藝。