二手 CANON PLA 600 FA #9309547 待售

CANON PLA 600 FA是一種掩模對齊器，提供了多層在基板上的精確對齊，從而能夠產生精細的、小規模的圖案。設備采用激光真空曝光技術，快速處理多達8 ½ 「x 11」面膜。佳能PLA-600FA由兩個主要組成部分組成：真空室和內置視覺系統。真空室的設計使多個口罩能夠同時處理。通過其六塊不銹鋼板，腔室能夠產生真空力，牢固地固定和精確地對準基板上的口罩。使用內置視覺單元，用戶可以以10微米的高分辨率精確控制每一層的位置和曝光水平。該機器還可以存儲多達200個設置,以提高生產效率。PLA 600FA還提供了卓越的圖像保留功能,可實現高達1微米的陣列大小,並具有出色的可重復性。此外，該工具還提供自動清潔資產，具有幾種晶圓清潔功能，包括噴霧清洗、空氣清洗和自旋沖洗清洗。CANON PLA 600FA以其先進的特性，設計用於生產先進的IC設備，如細線光刻和細線圖案。由於其靈活性和精確度，該模型非常適合各種粘合劑粘結和需要多層加工的基材。設備還配備了一系列保護用戶的安全功能，包括用於防止用戶進入室內激光的安全快門護罩。總體而言，PLA-600FA是一種先進的光刻系統，非常適合精密精密地制作細線圖案和錯綜復雜的小尺度圖案。除了先進的功能外,該設備還提供了一系列安全功能,可最大程度地保護用戶並提高生產效率。