二手 CANON PLA 600 #293594861 待售

CANON PLA 600是設計用於光刻應用的掩模對齊器。它是一個半自動的晶圓處理平臺，具有一整套功能和集成工具。其特點包括用於精確圖樣定位和對準的高精度級，用於晶圓分析的集成顯微鏡，以及最先進的照明和可編程濾波系統。對齊器的半自動操作使得它既適用於手動處理，也適用於自動處理。機器的詳細集成確保了一個完整的過程周期，從加載樣品開始，到卸載加工過的晶圓結束。在周期的中間有各種過程，如預對齊、曝光、數據分析、後對齊和卸載。機器可以以高達每小時100晶圓的速度執行其各種任務。掩模對準器的核心是一種由先進的實時圖像處理系統支持的優化光學設備。它是一個高度通用的單元，可以處理多種光掩模，如標準光刻掩模、幹涉類型、二進制、接觸和激光掩模。該機器還可以用於二元光刻應用，在那裏它可以應對與小特征檢測相關的復雜性。PLA 600為用戶提供了多種優勢,包括易於操作和維護、高精度、峰值性能和經濟實惠的投資成本。其中一個關鍵特征是其創新的掩模模式識別機，它利用一個高級算法庫進行掩模模式識別。此關鍵功能簡化了與出色的陣列匹配功能的對齊過程。先進的功能集還包括一個高度敏感的光源和數字投影工具。這些組件提供了出色的靈敏度和分辨率，使得制造高質量的微觀結構成為可能。此外，機器還提供了一個界面來控制某些參數，例如暴露劑量和暴露次數。它還配備了激光源，用於先進的模式生成。最後,CANON PLA 600提供了一系列安全功能,可確保環境安全使用,並確保機器正常運行。其中包括自動互鎖資產、空氣凈化模型和自動診斷。該機可與其他外圍設備集成，形成完整的光刻加工設備。