二手 CANON PLA 600 #293655815 待售

CANON PLA 600是半導體工業中用於生產晶圓的掩模對齊器。本機設計用於光學下光掩模和晶片的定位、對準和曝光.適用於二進制掩碼和衰減相移掩碼（PSM）。該裝置由自適應步進器、壓力控制曝光平臺和伺服控制的Z軸級組成。PLA 600具有可移動步進器,可配置用於不同的微加工過程,包括光學曝光、沈積、光刻、蝕刻和其他過程。此外,設備最多可存儲1024張掃描圖像。佳能PLA 600的壓力控制曝光平臺允許在整個曝光過程中均勻的壓力控制，以確保掩模和晶片的準確定位。壓力調節功能保證了均勻的曝光邊緣。PLA 600的Z軸級設計用於將掩模和晶片移動到最佳曝光位置。舞臺也被設計成精確對準掩蔽與晶片，提供優越的配準圖像被曝光。該級還設計用於精確移動掩模和晶片，以確保暴露在晶片的目標表面上。CANON PLA 600使用圖形用戶界面操作,該界面包括系統監視器、設置調整、圖像顯示和各種其他功能。該機還具有自動對準系統、緊急停止按鈕、防護罩等多項安全功能，防止人身傷害。PLA 600能夠精確定位和對準掩模和晶片,從而提高微加工工藝的精度和效率。該裝置可靠，易於使用，在晶片上提供精確和均勻的曝光。節省的時間和提高的生產率提供了有吸引力的投資回報。