二手 CANON PLA 600 #293660393 待售

CANON PLA 600是專門為半導體工業光掩模圖樣的光學接近校正而設計的掩模對準器。它是一種全自動、高精度的工具,可實現快速、精確的掩模對齊,具有任何傳統光刻設備都無法比擬的可重復性。PLA 600使用線性移動驅動系統，為掩碼對準提供高分辨率的控制和準確性。其對準精度為XY模為0.12 µm （6sigma），角模為0.20 µm （6sigma）。這確保在光掩模上形成的圖樣與標線上的圖樣精確匹配，以實現所需的光學接近校正。CANON PLA 600還附帶了一個功能強大的軟件包，該軟件包提供了掩模對準過程的完全自動化和高級功能，以精確控制過程。軟件支持多種模式，可用於優化過程參數，如曝光時間、焦點位置等，以實現最佳掩碼對齊。PLA 600還配備了高精度、自動化的定位系統，使其能夠在人工對準所需時間的一小部分內精確對齊標線。這確保了光掩模模式與最小的人工輸入精確對齊。最後，佳能PLA 600使用壽命長，是長期生產運行的理想選擇。該工具的設計符合現代半導體生產工藝的嚴密公差和標準，設計為運行長達10年的連續使用，無問題。這使得它成為半導體掩模對準的可靠且經濟實惠的選擇。