二手 CANON PLA 600F #9382829 待售

CANON PLA 600F是CANON集團旗下子公司CANON Semiconductor Equipment Corporation開發的掩模對齊器。CANON PLA600F設計用於光刻生產半導體器件中使用的光掩模或光刻工藝的快速、精確對準。通過使用高性能激光定位設備和內置參考鏡頭，可以精確對準掩模圖像的高分辨率。能夠將多層對齊到高精度,可確保將圖像正確定位在掩模或晶片上。這有助於創建缺陷最小的高質量設備。遮罩對齊器還具有光圈板，可以容納各種遮罩尺寸和形狀。這樣可確保在改變成像區域的位置時,蒙版的最佳對齊方式。鏡頭光圈板是可調的，可以調整到不同的深度設置。PLA-600F擁有復雜的圖像分析系統，能夠識別最小的缺陷並準確測量層厚度。通過設備的集成測量軟件，對掩模或晶片對準的精度進行監控和調整，確保了高度的均勻性。軟件還能夠監控口罩的定位，允許在必要時進行調整。掩碼對齊器與多種CANON技術兼容，例如其掩碼設計和分析軟件。這允許用戶創建自定義掩碼並優化圖像分析過程。機器還設有自動自檢點，監控溫度和電源等主要操作參數。這有助於減少與無法正常工作的部件相關的代價高昂的錯誤。該軟件還記錄設備上的信息以及圖像對齊條件,從而便於查看信息並幫助確保準確性。在安全性方面，掩模對準器是用內置的安全工具預先編程的。這限制了基於用戶操作環境的最大激光功率，確保了操作員的安全。