二手 CANON PLA 600F #9397141 待售

CANON PLA 600F是為高精度光刻設計的最先進的面膜對齊器。該工具有助於以統一和可重復的方式將物料層精確地沈積到基板上。適用於包括半導體、LED、MEMS、生物醫藥等廣泛的光刻應用。CANON PLA600F設備使用機械定心，使基板與遮罩和光源精確對齊。高度調整為+/-1mm, XY定位精度± 0.6 μ m。它利用高度精確的機械移動階段，XY誤差範圍為幾µm。該系統還具有高性能光學透鏡,可在高達1 µm的分辨率下精確對準。該單元易於使用各種用戶友好的軟件控制屏幕操作。菜單旨在提供簡單明了的用戶體驗。有三種曝光模式可供選擇；正常、軟觸摸和快速曝光。此外，該機最多可存儲九個樣本參數，方便數據召回。然後使用適當的曝光時間和波長將對準的遮罩與機器的水銀燈曝光。燈泡穩定,始終保持光照強度一致。該工具還具有內置的OPC（光學接近校正）處理器。此資產能夠根據用戶的流程要求提供最佳的曝光設置。PLA-600F掩模對準器是一種高效可靠的工具,使用戶能夠一次又一次地獲得高精度和可重復的光刻結果。它提供了易於使用的界面、精確的機械定心、強大的光學透鏡、高性能的汞燈和內置的OPC校正。這種結合使佳能PLA 600 F成為各種光刻要求的理想選擇。