二手 CANON PLA #9244761 待售

CANON PLA（Parallel Layer Aligner）是為晶圓步進器/掃描儀基於光刻設計的掩模對齊器。它是一種與步進器兼容的可編程激光對準設備,通過結合光學和軟件功能來測量和對準不同層中的層,實現自動叠加對準功能。PLA利用激光對準技術和高分辨率光學顯微鏡精確測量兩層的相對對準。激光對準是通過使用激光和矽晶片實現的，在該晶片上反射每一層的圖像。當兩層的對齊被確定為準確時，結果被寫入光刻配方。系統從從叠加測試晶片拍攝的單個圖像中識別模式,然後將其與參考數據集進行比較。它可以測量兩層的相對對齊度到亞微米精度。佳能PLA配備了強大的成像算法，簡化並加速了多層定位，同時消除了對多幅圖像的需求。該單元還具有多種內置工具，包括對齊驗證工具、模式匹配工具和邊緣檢測工具。PLA旨在縮短設置時間,並最大限度地減少生產所需的曝光次數。它的力量加上可編程激光機的靈活性，允許使用者控制對準過程的所有參數。它也是高度自動化的,允許多層的精確和可重復對齊。總體而言,CANON PLA是一種極其可靠和有用的光刻工具,具有極好的精度和實現快速吞吐量生產的潛力。它結合了光學和軟件功能,是對任何生產環境的寶貴補充。