二手 CANON Wafer conversion kits for PLA 501 #9160415 待售

ID: 9160415
晶圓大小: 2"-4"
2”-4”.
PLA 501的CANON晶圓轉換套件是用來增強掩模對準器靈活性的工具。掩模對齊器是一種用於在10 nm或更小特征大小的芯片表面上創建納米結構的機器。掩模對齊器由各種元件和機制組成,使光刻過程中使用的各種掩模能夠精確對齊,在基板上蝕刻所需的圖案,通常是晶圓。當使用掩模對齊器處理大小、間距或厚度不同的晶片時,必須使用晶片轉換套件。每個轉換套件都是為特定類型的晶圓設計的。用於PLA 501的晶圓轉換套件包括各種晶圓處理的可互換部件。套件包括安裝在掩模對準器主體上的卡盤支架。卡盤支架持有不同類型的卡盤,基板是在暴露過程中鋪設。夾子有各種形狀和大小,以容納不同類型的晶圓。此外,套件還包括一個4位卡盤裝載器,當晶片插入掩模對準器時,該裝載器用於固定晶片。晶圓轉換套件還配有電動晶圓位移裝置,用於在對準時精確定位基板。套件還包括隔膜密封,防止水分滲入口罩對準機內,從而確保晶片正確準確地暴露。最後,該套件包括一個晶片掩模堆棧,用於幫助將掩模對準正確的位置。使用此堆紙器對掩模進行精確對齊,從而可以將所需的圖樣精確蝕刻到晶片上。總體而言,PLA 501的CANON Wafer轉換套件為掩模對準器用戶提供了一種高效、準確的方法來處理不同尺寸、間距和厚度的晶片。套件的各種組件使掩模對齊器能夠精確對齊掩模並準確地將晶片與所需的圖樣曝光。
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