二手 COBILT CA 800 #102000 待售

COBILT CA 800掩模對準器是高分辨率器件制造的關鍵工具，尤其是在光刻應用中。它是一種多用途、自動化的設備,具有良好的分辨率和高重復性。設計了CA 800系統以提供高對準精度。其設計采用全場數字成像裝置,可選擇5 μ米步長,精度μ 2-10米,分辨率可降至0.25 μ米。這使得它能夠對復雜設備進行高分辨率對準和傳輸。機器還帶有兩個或四個區域的偏置源，可以提供高達12伏的偏置。這樣可確保即使卸下蒙版後,光刻膠層仍保持正確對齊。COBILT CA 800配備了全自動對準工具。它使用2D模式識別功能和閉環對齊控制資產,以確保設備在卸下掩碼之前正確對齊。掩蔽過程可以完全自動化，在層時間、劑量和溫度的可編程變化。該模型還包括一個修補程序單元、一個用於測量和監視層厚度的設備、一個閉環控制執行器和一個電動工作臺。可以為各種距離設置機動工作臺,以獲得最高分辨率。CA 800是制造小型復雜設備的寶貴工具。它提供了高精度和重復性，使其成為光刻工藝的理想解決方案。它的自動化能力使它成為準備小型設備的方便和高效的設備。