二手 COBILT CA 800 #69878 待售

COBILT CA 800 Mask Aligner是一種用於半導體器件制造中光刻工藝的器件。這種裝置使用大功率的UV燈投射出精確的圖案，蝕刻到基材上。CA 800設備的主要部件包括對準顯微鏡、舞臺、感光面罩、炮臺式面罩支架和準分子激光器。對準顯微鏡用於將相機與遮罩和基板對齊，也用於識別由於遮罩旋轉或未對準而可能發生的任何變形。為確保準確性,傳感器系統用於補償校準過程中的任何錯誤。COBILT CA 800中使用的UV燈能夠產生強大的UV光，這是針對面罩精確投射精確的圖案。Castellated mask holder helping keeping the mask stable during the photolithography process, while the succimmer laser is used to clean and referent the stability of the photolithogr將遮罩安裝到遮罩支架上後,舞臺將基板移到遮罩上方,並使用UV光將圖樣蝕刻到材料上。紫外線的速度可以調整，以增加或減少每單位時間蝕刻的特徵數量。此功能允許在制造小型特征時提高生產率和精確度。CA 800系統提供高分辨率和一系列可調參數的精確對準。該系統非常適合要求最苛刻的晶圓制造應用，其自動化特性使其易於使用和經濟高效。它還能快速連續加工多種基材，適合批量生產。