二手 DNK MA-4200 #293778963 待售
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DNK MA-4200是DNK Corporation的精密掩碼對準器。它采用先進技術構建,提供精確的對準精度和微米精度的晶片陣列能力。這種設備是專門為生產半導體器件和電路制造用的納米級層傳遞面罩而設計的。DNK MA4200有一個6英寸水平,5英寸垂直XY級晶片放置和對準。它具有2X到1000X的放大倍率和使用高放大倍率立體鏡和寬視野的能力,以更好的對準精度。該系統還有一個強大的視覺單元,用於對齊和陣列CAD模式。MA 4200迎合了小體積的納米技術應用,如絕緣體上矽(SOI)、基於光學的集成電路、MEMS和類似的工藝。它具有超細叠加對準和細線光刻的能力。它可以在小於5 µm的分辨率下,在光束電流為300 uA的情況下,在10 kV時,有效地制圖和傳遞。DNK MA 4200的主要特點包括7英寸LCD TFT顯示屏、用於更快對準晶圓的自動對準機、用於精確對準晶圓的四軸電動機以及符合人體工程學設計的操控工具。它提供手動和自動配方、晶圓移動的實時鼠標控制、針對不同過程步驟的參數優化,以及支持.lps、.csv和.inf文件格式的軟件。MA4200是現代集成電路對準和成型的絕佳工具。憑借其精確的對齊精度、高分辨率的陣列和接口功能,該資產提高了芯片制造的生產率和靈活性。
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