二手 DNK MA-4200 #293797494 待售
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DNK MA-4200 Mask Aligner是一種精密、精密的大型集成電路(LSI)電刻生產工具。它是一個全自動、計算機控制的曝光單元,專門設計用於晶圓步進器和掩模寫入器。DNK MA4200掩模對準器配備了先進的掩模圖樣處理器和功能極為強大的光學對準設備,使掩模與基板的對準更加精確和可重復。它還能夠自動為各個層建立索引,並在各級集成電路層上實現高分辨率對準。MA 4200掩模對齊器為用戶提供了許多功能,以最大限度地提高生產效率和質量。它配備了電阻式觸摸屏用戶界面,使得缺乏經驗的用戶可以輕松訪問該設備。用戶界面還包括具有高級縮放和平移功能的高度精確的對齊系統,允許對對齊參數進行微調。此外,該設備能夠在曝光前徹底檢查掩碼數據,以了解其準確性和掩碼圖樣中的任何錯誤。曝光過程包括使用掩模圖樣數據將激光束引導到基板表面極精確的斑點。這允許在表面製作微電路,分辨率在10至1微米之間。通過使用雙壓電級進一步提高了曝光過程的精度,可以精確地將基板移動0.1微米增量。MA-4200面罩對準器使用波長為248 nm、功率高達每脈沖480mJ的激光。其曝光時間低至0.2秒,可在攝氏40度的最高溫度下操作。MA4200符合所有現行安全標準,並配有自動滅火裝置,以確保額外安全。DNK MA 4200掩模對齊器不僅提供了卓越的性能,而且還提供了使用不同基板而無需重新對齊的靈活性。該單元配有噴嘴交換機,可放置各種基板,並在幾秒鐘內自動交換。歸根結底,DNK MA-4200提供的精確、自動化的制造工藝使其成為目前最先進、成本效益最高的掩模對齊器之一。
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