二手 DNK MA-4200 #9144337 待售

DNK MA-4200掩模對準器是一種用於制造微電子設備的半自動光刻設備。它可用於制造具有20至200 nm範圍內功能的設備。機器由兩個主要部分組成,一個是大型機,另一個是閱讀器/寫入器。DNK MA4200主機裝有光刻所需的光學和機械元件。這包括一個基板，面罩和基板被放置在上面。閱讀器/寫入器是一個電子控制的系統，它解釋面罩上的圖案並將其寫入基板上。該機具有多種可調特性，有助於實現高精度制造。步進電動機允許沿X和Y軸進行顯微鏡調節，總共四個自由度。遮罩級可以5個連續增量移動，也可以五度增量旋轉。閱讀器/寫入器使用紫外線激光進行曝光，使用六區級將光刻膠聚焦到基板上。將制造作業加載到MA 4200中時,首先使用X、Y和旋轉階段將掩碼與基板對齊。然後,使用掩模和基板啟動一系列掃描。每次掃描都需要幾次掃描和激光縮放才能將圖樣寫入基板上。每次掃描的長度取決於所需的分辨率和精度。圖樣寫入基板後,MA-4200有一個自動開發循環.這一步驟比工藝的其他部分需要更高的精度，並且設計成應用一層薄薄的光刻膠來選擇基板的部分。總體而言,DNK MA 4200掩模對齊器是一種通用、獨立的工具,對於高精度的微加工至關重要。它能夠精確地產生小至20納米的特征,並具有可重復的結果,因此非常適合為未來的電子設備創建復雜的設計。