二手 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9315610 待售
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DNS Screen DNS/DAINIPPON MA-4200是一種用於顯微加工過程中光刻的掩模對齊器。專為生產微電子器件和制造半導體元件而設計。遮罩對準器能夠以1微米的分辨率對基板上的光刻物層進行平版印刷。DNS MA-4200是一種全自動、計算機控制的曝光工具,使用高強度鹵素燈光源和先進的光學器件,以極高的精度和精確度提供瞬時曝光。整體光刻系統設計簡便易用,技術培訓最少即可操作。DAINIPPON MA-4200有一個動態模式生成器,可以生成平版印刷模式,可以用線寬、空間、對準精度、線緣清晰度和臨界尺寸(CD)控制等參數進行修改和調整。使用此工具,可以為復雜的設計生成多種模式,包括2D和3D特征,然後將它們轉移到基板上。MA-4200還包括一個計算機控制的健康監測系統,它允許持續的過程監測。該系統可隨時間監測燈和光學性能,並確保平版印刷過程無漂移。此外,儀器還設有校準標線,用於定期校準對準精度。DNS/DAINIPPON MA-4200結合了先進的技術和簡單的操作,提供高性能和快速的吞吐量。它提供了業界最高的叠加配準精度,並能產生極好的線緣銳度的亞微米分辨率模式。DNS MA-4200是各級光刻應用的可靠高效解決方案。
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