二手 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9375091 待售

DNS/DAINIPPON MA-4200是一種掩模對準器，一種光刻工具，用於光刻過程中將電路圖樣從光掩模傳輸到基板上（例如矽片或玻璃片）。對齊器將光掩模的圖像投影到基板上，並利用對齊傳感器測量對齊。DNS MA-4200專為直徑可達10.4英寸（263mm）的掩模而設計,在1000 µm的區域內,其對準精度可降至亞微米。由於工具的四象限對準技術，使用兩個幹涉儀來測量基板和光掩模的對準，這種高精度是可能的。這種方法也有利於檢查晶片到掩模的註冊。為了進一步提高精度,DAINIPPON MA-4200采用了優化的舞臺設計,以減少由於懸臂和熱膨脹引起的配準誤差,並具有一個抗振系統,以最大程度地減少機械振動並確保整個對準區域的一致對準。在維護方面，MA-4200有兩個獨立的真空系統，以減少手動晶圓交換的需要，方便無縫操作。此外,該工具還包括一個自動對齊系統（AAS）,它可以精確定位基板中所需的對齊中心,並通過按下單個按鈕來補償定位錯誤,從而無需手動校準。在光掩模兼容性方面，該單元可以處理多種類型，包括二進制掩模、移相掩模和鍍鉻掩模。為確保可靠性和安全性,DNS/DAINIPPON MA-4200具有多種控制功能,包括過載保護功能,該功能可在檢測到任何機械幹擾時自動停止刀具。它還具有空氣粒子和電泄漏傳感器，以檢測任何空氣汙染並將其保持在安全範圍內。DNS MA-4200設計用於快速、精確和精確的光刻處理。它兼具性能、準確性、可維護性、安全性和兼容性,是各種光刻應用的理想選擇。