二手 ELS TECHNOLOGY ELS 104SA #9161432 待售

ELS TECHNOLY ELS 104SA是一種先進的掩模對準器，用於制造硬X射線和軟X射線光學器件。ELS 104SA利用在掩模前表面形成的對準標記,並在成像光學器件中曝光,以精確地向光學器件註冊掩模位置。具體而言，ELS TECHNOLY ELS 104SA利用激光幹涉測量和電子圖像分析將掩模對準幾納米範圍內的基板。ELS 104SA由幾個關鍵組件組成,包括掩模旋轉器、掃描頭、分束器、自動級和自動檢測器。遮罩旋轉器是一種旋轉馬達，用於將遮罩精確對準基板。通過控制軟件，程序選擇板旋轉速率，從而實現精確的XY對齊。此外,它還具有手動光柵,允許用戶手動調整掩模和基板之間的重叠,從而提高了對齊的準確性。ELS TECHNOLOGY ELS 104 SA的掃描頭允許用戶選擇圖案尺寸、分辨率和掃描方向，並包含一個超穩定的石英平面鏡，可容納0.02微米精度和10納米分辨率。分束器是將入射光分成兩個獨立的光束的棱鏡，一個光束提供較小的掃描場大小，減少掩模或基板邊緣的像差，並增加吞吐量。ELS 104 SA的自動級保證了對準精度和可重復性，保持了高精度和穩定性。它還包括用於精確XY舞臺運動的遊標標尺。自動檢測器能夠自動識別對齊標記，提供高精度和重復性。它與自動舞臺配合工作，以提高準確性和盡量降低手動對齊的成本。總體而言,ELS TECHNOLY ELS 104SA是尋求可同時處理硬X射線和軟X射線光學的掩碼對準器的用戶的理想選擇。ELS 104SA具有高度精確和可重復的對齊能力,對於醫療和工業領域的許多應用來說,它仍然是一個可靠且價格合理的選擇。