二手 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #293768116 待售

ELS TECHNOLY ELS 106SA掩模對準器是半導體器件制造中使用的一種通用、精確、可靠的光刻工具。該設備設計用於高分辨率電子束、X射線和光學光刻應用，並提供納米級精度。該系統包括掩模對準器、腔室、基板卡盤和附件。蒙版對齊器使用電動舞臺精確移動和對齊蒙版,分辨率小至500 nm。這有助於確保正在制造的設備精確且原子對齊。ELS 106SA的腔室是單區、一件式、亞微米級的軸上設計單元。這種設計允許快速的基板卡盤插入和移除，而腔室有一個獨特的移植機器，可以方便地整合多個附件。它還有一個高溫的熱源，為精確的對準提供熱補償。ELS TECHNOLOGY ELS 106SA的基板卡盤設計為可實現低角度基板,預對齊的對齊標記能夠實現小至5nm的分辨率。可選附件包括電子束蒸發器、氣體註入沈積源、光學聚焦工具和石英晶體監測資產。該型號還包括安全聯鎖功能，以確保操作員安全。ELS 106SA專為研究和工業應用而設計,並為通用的制造任務提供用戶友好、直觀的控制。它具有用於配置多個參數和監控設備性能的高級圖形用戶界面。系統還包括分析和日誌記錄功能,使客戶端能夠輕松跟蹤模式更改並檢測任何異常。此外，該單元還擁有一個用於定期檢查和測試的綜合維護機器，以保持最佳的刀具性能。這項資產堅固可靠,能夠承受環境和操作壓力。總體而言,ELS TECHNOLY ELS 106SA掩模對齊器是一種精確、用戶友好且可靠的模型,專為高分辨率光刻應用而設計。其先進的特性、堅固的設計和直觀的控制設備使其成為半導體器件制造的理想工具。