二手 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #9263362 待售

ELS TECHNOLOGY ELS 106SA
ID: 9263362
晶圓大小: 6"
優質的: 2011
Mask aligner, 6" 2011 vintage.
ELS TECHNOLY ELS 106SA是為制造高精度光掩模和光學集成電路而設計的最先進的掩模對準器。它采用先進的多層真空設備,用於暴露口罩並保持其定位精度,為用戶提供高效可靠的口罩解決方案。該機以線性和角度對齊模式運行,使用戶能夠靈活選擇最適合自己需求的解決方案。ELS 106SA具有真空底板,側面驅動器用於精確的X/Y對準,確保掩模牢固地保持在所需的確切位置和方向。氣墊用於降低口罩上的壓力,確保口罩在整個對準過程中保持原位,並消除熱膨脹或其他運動造成的任何潛在對準誤差。氣墊還有助於更安靜的工作環境,並確保面罩毫發無損地從ELS TECHNOLOGY ELS 106SA中脫穎而出。該機的多級真空系統能夠實現極高的掩模精度。這是通過使用高精度旋轉定位單元實現的,該單元允許精確確定掩模的完全對準範圍。真空還可確保口罩在對準過程中保持牢固連接,從而消除了對準錯誤的風險。這也允許精確補償面罩的彈力,以獲得更高的精度。ELS 106SA配備了集成激光對準機,能夠測量遠小於常規方法所能達到的水平。這使得精確的對齊方式能夠以高度的準確性和可靠性來實現,而操作員的幹預卻是最少的。機器的車載軟件允許對對齊過程進行準確和可重復的控制,為用戶提供根據需要調整和定制對齊的靈活性。可通過軟件的圖形用戶界面進行進一步的自定義,從而允許用戶對對齊方式進行較小的調整,而無需重新編程計算機。綜上所述,ELS TECHNOLY ELS 106SA是一種精密的掩碼對齊器,能夠生產高精度和可靠性的掩碼。它為用戶提供了廣泛的選項,從簡單的線性對齊到更高級的角度對齊,允許用戶根據自己的需要選擇最合適的解決方案。板載軟件和集成的激光對準工具可以在操作人員幹預最少的情況下實現精確對準,為用戶提供可靠和高效的掩蔽解決方案。
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