二手 EVG / EV GROUP 420 #293589823 待售
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ID: 293589823
Aligner
Bond alignment holder
Bond align chuck
Mask holder: 5" and 7"
Lithography chuck: 4" and 6".
EVG/EV GROUP 420是半導體工業中使用的先進可靠的光刻掩模對齊器。它是為大批量生產非常小的結構和MEMS組件而設計的。它提供了先進的對齊設備和面向用戶、直觀的軟件，最大限度地為用戶提供便利。該系統包括一個精確的光學成像頭，由激光點對準單元提供動力，並由一臺聚焦檢測機增強。它包括各種曝光後對準工具,可實現1.5 µm ±的精確定位精度,可重復性小於0.5 µm。該工具在廣泛的環境條件和適度的加速和減速下運行。可以將可選的照明系統添加到資產中,以改進一致性、過程控制和實時曝光監控。它提供模具與模具的兼容性,從而實現並發曝光和開發。它采用模塊化輕巧的設計,可輕松為不同的任務重新配置,從而提供出色的啟動時間和可靠性。該模型具有精確的框架對準、集成的晶圓處理能力、熱卡盤和先進的曝光控制功能。它具有靈活、符合人體工程學的設計,具有用戶友好的觸摸面板控制、自動聚焦檢測和可調曝光計時器。與成本更高的系統相比,機器的性能和精確度更高,同時需要更少的環境和過程補償技術。它還提供了面罩對齊器中無法提供的功能,例如與以前的曝光層進行註冊和多層註冊。該機安全易用，能夠準確可靠地暴露高精度特性。它的功能和選項為高價值高級應用程序的曝光提供了擴展功能。總體而言，EVG 420是一款先進、可靠且易於使用的掩模對齊器，適用於半導體行業的大批量生產應用。它是為滿足先進的光刻工藝的需要而設計的，具有出色的工作時間和可靠性。
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