二手 EVG / EV GROUP 420 #293757176 待售

EVG/EV GROUP 420 Mask Aligner是一款通用的Mask Aligner,可為用戶的過程開發提供動態模式掩蔽和計量功能。EVG 420 Mask Aligner非常適合從光刻到納米級技術的項目。它具有很高的精確度，使用最新的精密對準技術和激光，並且可以提供廣泛的基板變化和工藝專業知識。EV GROUP 420 Mask Aligner設計並配備了一個特殊的集成式炮塔，能夠一次快速加載許多mask框架，方便在不同的mask之間切換，同時運行多個項目。此外,它還提供了三種不同的對齊模式,旨在滿足任何應用程序的需求：手動對齊、自動角檢測和邊緣檢測。手動對齊是最精確的方法來對齊脆弱的蒙版和盡量減少殘留的扭曲。420 Mask Aligner還保證了快速吞吐量,周期時間僅為240秒,吞吐量速度高達每小時200晶圓。它還可以處理薄基板，因為它的低最小基板厚度0.2mm。同時，Mask Aligner還具有自適應聚焦控制、傾斜控制和平面化算法，以提高工藝質量。EVG/EV GROUP 420掩模對準器的其他顯著特點包括全自動晶片裝卸；溫度調節熱成像系統；最先進的CCD和自動曝光成像系統；以及一個覆蓋對齊配方庫。總體而言,EVG 420 Mask Aligner是一款多功能成像工具,具有許多功能和特點,非常適合快速、精確的光刻和計量過程。它是任何高精度和速度最重要的開發和研究環境的理想工具。