二手 EVG / EV GROUP 620 #9149820 待售

EVG/EV Group EVG/EV GROUP 620是光學光刻中使用的下一代掩模對準器。與同類產品中的其他掩碼對齊器相比,它提供了更高的準確性、不妥協的一致性和卓越的過程一致性。該設備具有全自動、高速對準階段。它采用了具有前所未有的準確性和可重復性水平的微定位系統。光學探測相機有助於確定晶圓樣品的確切位置。光學對準單元滿足跨晶片臨界尺寸均勻性的半導體標準，高分辨率對準傳感器提供精確的位置精度。遮罩級由全自動高速指向單元和視場平面組成，根據遮罩尺寸和光刻膠厚度不斷調整。這樣可以確保蒙版放置的準確性,並減少潛在的配準錯誤。此外，機器有一個集成的機械夾緊工具，方便快速加載和卸載面罩。該資產具有多項功能,旨在簡化用戶工作流程並提高效率。自動配方模型只需一個配方即可簡化流程設置和一致性驗證。直觀的用戶界面允許用戶快速構建和控制流程配方，並允許實時調整。此外,該設備同時支持最多五個配方運行,以提高吞吐量。EVG 620提供世界一流的光刻性能。其高精度對準系統提供了卓越的準確性和可重復性。全自動蒙版放置階段確保了精確的蒙版定位，直觀的用戶界面允許用戶輕松調整配方和處理設置。該系統還具有集成的溫度控制技術，可重復可靠的工藝性能。