二手 EVG / EV GROUP 620 #9157850 待售

EVG/EV GROUP 620是一款先進的Mask Aligner設備,專為通用的掩碼處理和測試需求而設計。它采用了全自動光學對準技術，使平板基板能夠針對剛性或柔性面罩進行精確和可重復的配準。該系統還為各種應用程序提供了卓越的吞吐量和準確性。EVG 620具有世界級的光學元件、軟件和系統工程功能。其最先進的對準單元，包括兩個13軸的精密驅動器，在提供主動對準過程中對基板的精確控制的同時，可以達到高精度。這使得它非常適合於抗蝕劑成像、細線光刻、精密基板制備以及其他具有挑戰性的任務等應用。自動對準過程采用高精度光學成像傳感器和可操縱掩模相結合，確保每次都能準確放置基板，在X軸和Y軸上的重復性均優於+/-1微米，在Z軸上優於+/-2微米。這樣可以實現高度精確的抗拒圖像和精確的基板制備。該機還配備了強大的光刻工具，以確保所有操作的亞微米精度。資產的自動Z聚焦模塊支持動態掃描,以確保抵抗厚度的均勻性。級聯操作模式可確保超高分辨率和偏差控制,而其先進的對齊和檢測算法可實現設計數據的快速、準確匹配,從而最大限度地減少異常值。該型號還非常用戶友好,具有高分辨率的彩色LCD 4.3"觸摸屏,可顯示對齊方式、曝光次數、每個基板的曝光總量等信息,以及對抗拒效果的詳細評估。這樣可以輕松直觀地操作。EV GROUP 620是一款高度先進的Mask Aligner設備,性能卓越,操作方便用戶。它能夠為各種應用程序提供卓越的速度和準確性,同時通過其高分辨率彩色LCD 4.3英寸觸摸屏對抗拒效果進行詳細評估。