二手 EVG / EV GROUP 620 #9250079 待售

EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner是一種精密儀器，用於對準和粘合光掩模和其他基板。它能夠實現亞微米精度，對準精度為1.5 μ m。EVG 620是一種全自動工具,適用於高吞吐量生產以及單掩模/基板生產。其高效的自動化軟件確保了口罩和基板之間的精確對齊和精確結合。EV GROUP 620有兩個獨立的級，一個是內置直線軸承的高精度步進電動機級，另一個是XY-theta軸機動化級，以低加速度相移動，高速非同步皮帶設備。這使系統無需使用額外的外部硬件即可實現亞微米對準。集成軟件高效、自動化，包括用於控制運動階段和真空運動的可編程接口。620除了精度和準確度較高外，還設有深度工藝控制單元。這包括一臺有鏡頭系統選擇的視覺機器、真空系統實時監控、自動定位工具以及自動校準和建模資產。這種集成模型有助於保證前後一致且可重復的結果。EVG/EV GROUP 620蒙版對齊器是一種適合對準和粘合多種基材的選擇。它易於使用、易於維護,並提供市場上最高水平的準確性和可重復性。這使得它成為熔融基板原型制作和生產的高度可靠和經濟高效的解決方案。