二手 EVG / EV GROUP 620 #9261506 待售

EVG/EV GROUP 620是一種用於納米光刻、特別是光刻的掩模對齊器。它是一種半導體陣列儀器，能夠精確地將線條和通孔等模式轉移和對齊到基板上。EVG 620的主要部件是光柱、激光控制系統和晶圓級。Aligner EV GROUP 620的光學柱能夠透過各種面罩和標線投射光線，用以將圖案轉移到基板上。柱子上還裝有光傳遞和繼電器光學器件，如鍍鋅鏡，它們在基板上移動光的圖樣。此外,它還包含引導激光束的精密級,以便精確對齊圖樣。Aligner 620的激光控制系統用於調整激光的功率、波長和曝光時間，以匹配所需的模式。系統還包含光學元件，例如多語言視區，以便用戶在對齊模式時能夠確保準確性。最後，Aligner EVG/EV GROUP 620的晶圓級負責基板的運動。這些階段能夠以高精度快速定位和定位基板，從而使圖樣能夠正確和精確地對齊。EVG 620的行程範圍延長，可重復性為1 µm，可實現出色的定位精度。總體而言,EV GROUP 620 Mask Aligner是一種可靠、精確的光刻制圖儀器.利用其激光控制系統、光柱和晶片級，能夠快速有效地將圖樣轉移和對準基板。