二手 EVG / EV GROUP 620 #9266635 待售

EVG/EV GROUP 620蒙版對準器是一種專用的精密工具，用於將圖樣制作成多種基板。它非常適合批量制造集成電路、MEMS和微系統、薄膜頭、柔性電子設備以及廣泛的其他應用。EVG 620是一種全自動設備,提供卓越的精確度和吞吐量。其對準能力基於先進的圖像處理技術，加上高分辨率的線性測量傳感器，以確保每個元件精確地放置在其所需的位置。該系統具有用戶友好的觸摸屏界面,便於設置、操作和維護。該單元的核心是先進的對準架構，具有自動鏡頭優化、全4象限感應和可編程的超聲模式，以獲得快速準確的結果。它還具有集成的機器控制器,並帶有板載診斷程序以檢查錯誤。EV GROUP 620工具配備獨特的基板卡盤資產，可容納直徑最大8英寸的基板。它可以同時處理圓形和矩形晶片，甚至可以在同一晶片上處理幾個不同幾何形狀的模具。其對準精度為± 2 μ m,掩模過失精度在± 1 μ m以內。此外,620遮罩對準器還采用了多種有助於確保均勻性和均勻沈積的技術,如「傾斜和旋轉」特性、MEMS卡盤傾斜補償和陰極氣體控制。其標準特性還包括一個大氣壓室和一個可重復的軟件過程。它還具有CCD分辨率的高精度相機模型。此外，EVG/EV GROUP 620蒙版對準器設計為提供快速可靠的光刻設備。其能力使復雜產品的制造具有優異的效果。該系統的資金和運營成本低，非常適合經濟高效的生產。此單元非常適合那些需要大量復雜零件的用戶,以及規模較小的原型設計操作。