二手 EVG / EV GROUP 620 #9352151 待售

EVG/EV GROUP 620是一種高精度的掩模對準器，用來對齊和傳遞一個圖樣，例如光掩模，以極高的精確度到基板上。這種對齊器使用六軸機械臂提供無與倫比的4微米、亞納米可重復性。它具有在6英寸晶圓上傳輸和對齊小至0.5微米、5西格瑪精度為1微米的特性的能力。EVG 620采用專利光束曝光技術，能夠產生形狀精度極好的均勻光束斑點圖案。其高分辨率的空間光調制器陣列使其成為液晶顯示和半導體掩模對準應用的理想選擇。該設備的八個專用驅動級可實現高吞吐量和快速對準速度,其光子邏輯控制為更長的生產運行提供即時反饋。直觀的用戶界面可確保精確的設置,內置的庫允許訪問經常使用的參數集,從而進一步方便。EV GROUP 620利用了最先進的光學對準站,可實現100%的視場覆蓋,最多可配置5個通道。此對準器具有先進的光束增強系統,該系統結合了五個質心聚焦透鏡,具有獨特的光束控制功能,可提高工作效率。其集成軟件利用智能模式匹配算法和先進的宏技術來提高對齊精度。此外,620提供了不同的對齊模式,以適應不同的應用程序需求,而計量單元提供了持續過程優化的反饋。對齊器獨特的自動對焦機為所有晶圓尺寸的精確對準提供了最佳的接受標準,而無需手動幹預。此外,此工具還具有高級全局對齊選項（如XY或XYT功能）,以確保更高效的晶圓級對齊。