二手 EVG / EV GROUP 6200 #9168654 待售

EVG/EV GROUP 6200 Mask Aligner是一款功能強大的自動化設備，設計用於半導體制造、微電子和光子學行業的光刻和檢查應用。這種精密設計的設備能夠在從晶圓到半導體芯片和平板顯示器的基板上生成均勻、高分辨率的圖像。EVG 6200 Mask Aligner具有5 um （0.2 mils）的XY分辨率,覆蓋精度高,位置重復性好。這種容量允許制造高度復雜的電路和集成電路。配備高效、低漂移操作性，EV GROUP 6200可加工最大尺寸為200 mm x 200 mm（8 「x 8」）的基板。6200 Mask Aligner除了性能可靠外,還為用戶提供了完整的功能範圍。內置晶圓處理系統允許全自動晶圓加載、卸載和對準。該單元還包括一個基於LED的攝像機，允許清晰和精確的面罩顯微照片。可以使用高速網絡連接存儲和傳輸每個掩碼對齊器的數據,從而提高生產效率。EVG/EV GROUP 6200 Mask Aligner可配備多種附加應用和附件，包括工藝監控系統和激光曝光控制。這些系統結合使用，可以在諸如分辨率增強技術、雙面光刻和高級包裝等高級過程中對工藝參數進行精確控制。EVG 6200 Mask Aligner采用先進可靠的技術構建,是高性能、高通量光刻和檢測應用的理想解決方案。EV GROUP 6200適用於各種環境,是提高生產效率和產量,同時將成本降至最低的有效方法。6200 Mask Aligner具有低漂移操作和出色的覆蓋精度,是廣泛精確和復雜應用的完美工具。