二手 EVG / EV GROUP 6200 #9223335 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9223335
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
Mask aligners, 8"
Manual wafer load mask aligner (TSA+BIR)
With mask holder: 9”x 9”
Exposure mode: Soft contact / Hard contact / Vacuum contact
Lamp house: 1000 W
Range of alignment: X, Y: +/- 5 mm
Rotation: Theta +/- 3.5°
Actuated by analog 3 axes joystick
Resolution: 0.06 μm
Movements: Motorized
Alignment accuracy:
Top side alignment: 0.5 μm (With 20x objective)
Top to bottom side alignment: 1 μm (With 20x objective)
2110C2-E Radiation power system
Anti vibration table: 1000 W
User interface: Microsoft Windows based
Monitor screen
System PC
Keyboard
Cables
Joysticks
UPS
Operations manual
2006 vintage.
EVG/EV GROUP 6200蒙版對準器是一種高度先進的光刻和薄膜對準過程工具，用於制造MEMS、半導體和平板顯示器件。該設備旨在實現x、y和z軸的精確移動,以實現掩模（或模型）和基板層的最佳對齊。EVG 6200蒙版對準器具有平面內和平面外對準能力，定位精度為每軸0.5µm。此外，它還具有高分辨率的攝像頭系統，具有對齊點和節點識別的精確位置。它還與標準現成的光學器件和直徑可達110mm的真空卡盤兼容。符合人體工程學設計的集成工作站包括片上處理、高速異步控制和高級用戶界面。所有組件都集成在一個集成的工業級鋁制外殼中,並位於無振動空氣支架之上,以實現無與倫比的穩定性。本機設計具有自動校準功能，可簡化操作，確保重復精度和產品均勻性。此外,它還包括允許可變曝光調整和配置文件的自動曝光功能。為了提高生產效率,它結合了高性能的手動索引表和操作狀態通知,以確保高效的設備處理。通過直觀的圖形用戶界面，EV GROUP 6200掩碼對齊器可以輕松配置，以符合客戶的特定應用要求。6200面膜對齊器可使基板與圖樣精確對齊,減少線寬和特征不對齊。其高度精確的位置和旋轉反饋機保證最小的對齊誤差，以提供所需的打印。該工具兼容各種熱塑性塑料、低導熱材料，以及用於印刷墊和通風瓶的金屬，精度高。此外，這一工具能效很高，有助於減少能源費用和保持環境質量。
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