二手 EVG / EV GROUP 6200 #9239987 待售

EVG/EV GROUP 6200是一款為直徑達200 mm的基板設計的掩模對齊器。這臺最先進的機器由兩個獨立的階段組成。第一階段稱為直接成像（DI），允許在基板上創建有陣列的對齊標記。這些對準標記是使用主成像設備生成的，該設備包括屏幕平面攝像頭和數字微鏡設備（DMD）。二次成像系統由帶電耦合器件（CCD）相機和光動光源組成，使機器能夠檢測基板上的圖樣對準標記，並將其對準預定的覆蓋精度。EVG 6200的第二階段用於光刻處理。此階段允許使用光刻技術在基板上創建圖樣。它由兩個組成部分組成；一個大型的全自動曝光裝置，用於將圖案化的對準標記暴露在基板上，一個高壓噴霧機，使光刻膠塗在基板上。曝光工具配有專用的用戶界面，方便地控制曝光和處理參數，而噴霧資產則有用戶定義的控制，可以最佳地塗覆光刻膠層。EV GROUP 6200具有內置功能,為用戶提供卓越的精度和精確度。它包括一個最先進的圖像識別算法，用於識別微觀層次的圖樣對齊標記。該機還具有精確的溫度控制功能,可實現準確、一致的處理。它還配備了高效、均勻的光源，用於曝光目的。最後,EVG/EVGroup 6200是一種用於直徑200 mm的基板的掩模對齊器。它配備了兩個階段，第一個允許在基板上創建有圖案的對齊標記，第二個用於光刻處理。該機配備了多項功能，為用戶提供了精確、準確的界面，如用戶友好界面、圖像識別算法、精確溫度控制和高效光源。