二手 EVG / EV GROUP 620NT #9286955 待售

EVG/EV GROUP 620NT Mask Aligner from EVG是下一代精密光刻設備。它是一種通用工具，可用於從MEMS/傳感器到微流體和光電子等廣泛應用的高分辨率陣列。EVG 620NT非常適合先進的超精細制造技術,提供卓越的對準精度和精確的曝光後配準。EV GROUP 620NT也足夠靈活,可以立即適應具有挑戰性的結構和基板。620NT提供現場優化的5.2微米光斑大小和多達30個mJ/cm2紫外線暴露源,提供精確的對準和模式。系統的曝光頭可以根據源進行切換,還有一個64位曝光cha速度控制,用於微調曝光協議。基板級有一個非接觸式伺服控制單元，可以用高分辨率編碼器實現亞微米位置精度的位置讀數。它還具有環境控制和主動工作空間成像機，以提高安全性。EVG/EV GROUP 620NT的對準由於其先進的晶圓到掩碼變焦技術而具有很高的準確性和可重復性。該工具具有先進的對齊標記標識，可確保在一系列不同的基材上精確定位圖樣。它還具有用於對齊驗證和過程驗證的完整分析工具庫,以及專有的預設優化引擎。最後，資產包括一個全面的數據分析和測量包，允許詳細的過程監測和評估。EVG 620NT Mask Aligner利用最新的先進光刻技術,為一系列復雜的制造應用提供高分辨率、準確性和可靠性。如果需要跨不同基板的陣列均勻性,則EV GROUP 620NT是適合您的工具。它用戶友好,具有直觀的觸摸屏控件和用戶可選擇的參數,具有極大的靈活性。您可以信任620NT每次都提供可靠、可重復和精確的模式。